真空檢測(cè)傳感器 南京軒鄴測(cè)控科技 生產(chǎn)廠家
真空檢測(cè)的壓力傳感器通常分為負(fù)壓傳感器和絕壓傳感器。
負(fù)壓傳感器是以大氣壓為參考的壓力傳感器，測(cè)量的是比大氣壓低的真空度壓力范圍，量程一般是0~-100Kpa，大氣壓下輸出0，抽負(fù)壓，傳感器輸出隨負(fù)壓增大兒增大。
絕壓傳感器是以絕對(duì)真空為參考?jí)毫?，測(cè)量的是絕對(duì)壓力值，量程從絕壓0~5Kpa...10Kpa...100Kpa...100Mpa（超過(guò)4Mpa以上多采用密封表壓）。
SUAY30真空/絕壓變送器廣泛應(yīng)用于科研、醫(yī)療設(shè)備，航空航天，制藥，檢漏，自動(dòng)化設(shè)備配套等領(lǐng)域。該系列產(chǎn)品可分為負(fù)壓變送器SUAY30G (粗真空測(cè)量)、絕壓變送器SUAY30、高真空度絕壓變送器SUAY30A三個(gè)子系列。
負(fù)表壓變送器SUAY30G采用進(jìn)口MEMS擴(kuò)散硅傳感器，通過(guò)量程遷移，配以專(zhuān)用信號(hào)處理單元，來(lái)實(shí)現(xiàn)負(fù)壓的精準(zhǔn)測(cè)量，產(chǎn)品性能穩(wěn)定，使用壽命長(zhǎng)，量程可在0~-100KPa間任意選定。
絕壓變送器SUAY30采用先進(jìn)的MEMS固態(tài)硅技術(shù)，增加了感壓核心的靈敏度，在不大幅度損失輸出信號(hào)的情況下可將最小量程遷移至1-1.5psi（10KPa），輔以特殊、穩(wěn)定、高輸入阻抗的信號(hào)處理模塊，使其具有優(yōu)良的綜合測(cè)量精度，成為真空測(cè)量的優(yōu)選產(chǎn)品。
高真空度絕壓變送器SUAY30A使用進(jìn)口金屬薄膜電容、電離規(guī)技術(shù)，配合國(guó)際先進(jìn)的生產(chǎn)標(biāo)定設(shè)備，可將最小量程擴(kuò)展至200Pa，實(shí)現(xiàn)真正的高真空度壓力測(cè)量。
可根據(jù)用戶(hù)的具體要求特殊設(shè)計(jì)、定制，滿(mǎn)足各種實(shí)際應(yīng)用需求。
產(chǎn)品性能指標(biāo)
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測(cè)量范圍 |
絕 壓：0-10KPa...7MPa
高真空度：0.02-200Pa...10KPa
負(fù) 表 壓：0~-500Pa...~-100KPa |
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靜態(tài)精度① |
±0.1%FS ±0.25%FS ±0.5%FS |
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信號(hào)輸出/供電 |
4-20mA 0-5V 0-10V 1-5V |
12-36VDC(典型24VDC) |
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數(shù)字信號(hào)輸出RS485 |
5V/5-16VDC/24VDC |
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測(cè)量介質(zhì) |
與316不銹鋼兼容的氣體或液體 |
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工作溫度 |
-20～85℃ |
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補(bǔ)償溫度 |
-10～70℃ |
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貯存溫度 |
-40～100℃ |
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長(zhǎng)期穩(wěn)定性 |
典型：±0.1%FS/年 最大：±0.2%FS/年 |
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零點(diǎn)溫度漂移 |
典型：±0.01%FS/℃ 最大：±0.02%FS/℃ |
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靈敏度溫度漂移 |
典型：±0.01%FS/℃ 最大：±0.02%FS/℃ |
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過(guò)載能力 |
2倍滿(mǎn)量程壓力 |
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有效測(cè)量壽命 |
﹥106壓力循環(huán)（P:10-90%FS） |
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抗振動(dòng)性 |
20g ，（IEC 60068-2-6） |
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抗沖擊性 |
20g， 11mS |
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響應(yīng)時(shí)間 |
≤1ms |
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分辨率 |
大于10-5（通常受限采集顯示設(shè)備，理論無(wú)限小） |
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負(fù)載電阻 |
≤（U-12）/0.02 Ω（電流輸出） >100KΩ（電壓輸出） |
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絕緣電阻 |
200M?，100VDC |
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壓力接口 |
M20*1.5，G1/4，KF16（典型）； G1/2，KF25（可選） |
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電氣連接 |
接插件或直出電纜2m |
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接口及殼體材料 |
304/316L不銹鋼 |
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外殼防護(hù) |
IP65（插頭型） IP67（電纜型） |
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安全防爆 |
Ex iaⅡ CT6（本安） |
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密封圈 |
氟橡膠 |
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傳感器膜片 |
不銹鋼316L |
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產(chǎn)品重量 |
約450克 |
注：①包含非線性、遲滯和重復(fù)性
